Nyomásszabályozási elve a vákuumbevonat

1. Háttér Bevezetés
A vákuumbevonó berendezések egyfajta berendezés, amelyet széles körben használnak az ipari termelésben. Fő funkciója az anyag, amelyet a vákuumbevonatba kell bevonni, és a magas hőmérsékleten és a magas vákuumkörnyezetben lévő reakción keresztül a filmréteg egyenletesen lerakódik az anyag felületén. , és képződjön egy bizonyos bevonatréteggel, speciális funkciókkal és jellemzőkkel. Közülük a berendezésben a vákuum- és tapadási sebesség fontos mutatók, amelyek befolyásolják a bevonatréteg minőségét, és a vákuumfokozat stabilitása a berendezés nyomásszabályozásától függ.
2.
1. A vákuumfokozat meghatározása
Mielőtt bemutatnánk a nyomásszabályozás elvét, be kell mutatni, hogy mi a vákuum. A fizikában a vákuum olyan gázkörnyezetre utal, amelynek nyomása kevesebb, mint a légköri nyomás, tehát a vákuum mértéke egy bizonyos térben a gáznyomásra utal. Általában vákuumot általában Pascals (PA) vagy méteres sávban (MBAR) mérnek. A vákuumbevonó berendezésekben a szokásos vákuumtartomány 10^-6Pa ~ 10^-2Pa.
2. A nyomásszabályozás elve
Ha a vákuum túl magas vagy túl alacsony, akkor ez befolyásolja a berendezés normál működését. Ezért egy bizonyos módszerrel kell ellenőrizni a berendezés vákuumszintjét. Közülük a nyomásszabályozás egy viszonylag egyszerű és hatékony vezérlési módszer. Pontosabban, a nyomásszabályozás elve az, hogy egy nyomásvezérlőt használjon a berendezésben lévő gázáramlási sebesség szabályozására a szabályozott vég nyomásának, majd a visszacsatolási mechanizmuson keresztül, a szelep nyílásának szabályozásával, a nyomás szabályozásának céljának elérése érdekében.
3. A nyomásszabályozó alapösszetétele
A vákuumbevonó berendezésekben általában nyomásszabályozást használnak a nyomás szabályozására. Alapvető összetétele négy részből áll: érzékelő, vezérlő, működtető és vezérlőrendszer.
Detektálási érzékelő: Elsősorban a szabályozott vég nyomásváltozásának észlelésére és a megfelelő elektromos jel kimenetre történő konvertálására használják.
Vezérlő: Elsősorban az érzékelővel kapja meg az elektromos jel kimenetét, folyamatokat és elemzi azt, majd az elemzési eredményt visszajuttatja a működtetőnek, hogy ellenőrizze a szelepmozgató nyitófokát.
Működtető: Ez elsősorban a gáz áramlási sebességét szabályozza a szelep nyitási fokának szabályozásával, hogy elérje a nyomás szabályozását.
Vezérlőrendszer: Elsősorban a berendezés különféle mutatói, például hőmérséklet, vákuumfok stb. Figyelmére és ellenőrzésére használják, és egy sor ellenőrzési stratégiát készítenek.
3. Összegzés
Összefoglalva: a vákuumbevonó berendezések nyomásellenőrzésének elve az, hogy a berendezés nyomását egy viszonylag egyszerű és hatékony visszacsatolási mechanizmuson keresztül szabályozza. Egy ilyen stabil vezérlőrendszer létrehozásához a berendezés -vezérlő rendszer különféle aspektusainak műszaki támogatását igényli, például a paraméterek megfigyelését, a vezérlő algoritmus, a működtető vezérlés, a rendszerkapcsolat stb. Ezek a műszaki tényezők bizonyos szakmai és műszaki személyzet együttműködését megkövetelik annak biztosítása érdekében, hogy a berendezések kiválóbb teljesítményt nyújtsanak.