Értse meg, hogyan valósul meg a vákuumbevonat -folyamat

Vákuumbevonategy olyan folyamat, amelyet kiváló minőségű vékonyréteg-anyagok előállítására használnak. Vékony fóliákat állít elő, ha termikusan elpárologtatja vagy organikus vagy szervetlen anyagokat porol egy szubsztrát felületére vákuum körülmények között. Ez a cikk részletesen bemutatja a vákuumbevonat végrehajtását.

A vákuumbevonási folyamat a következő lépéseket tartalmazza:

1. Válassza ki a megfelelő szubsztrátot és anyagot

A megfelelő szubsztrát és anyag kiválasztása a vákuumbevonat első lépése. A szubsztrát lehet üveg, műanyag, fém vagy más nanomatermékek. Az anyagok lehetnek szerves vagy szervetlenek, például fémek, félvezetők, oxidok vagy nitridek.

2. Töltse be a vákuumbevonórendszert

A második lépés a szubsztrát és az anyagok betöltése a vákuumbevonat rendszerbe. A vákuumbevonórendszer tartalmaz egy vákuumkamrát, egy fém párologtatót, egy porlasztást és egy vezérlőrendszert. A vákuumkamra egy zárt hely, amelyet a vákuumkörnyezet fenntartására használnak, a fém párologtatók és a sputterek olyan eszközök, amelyek az anyagok elpárologtatására vagy a szubsztrátokra történő elpárologtatáshoz vagy a vákuumkörnyezet és az anyag párologtatási vagy porlasztási sebességének megfigyelésére és beállítására szolgálnak.

3. Vákuum

Az anyag és a szubsztrát betöltése után a vákuumkamrát evakuálni kell. A porszívózás nagyon fontos lépés, mivel az alacsony nyomás és a magas tisztasági környezet fenntartása garantálhatja a membrán minőségét. A vákuumkörnyezet általában 10^-6 mbar alatt van, hogy kizárja a gázmolekulákat és más szennyező anyagokat.

4. Anyag párolgás vagy porlasztás

Amikor a vákuumkörnyezet eléri a kívánt nyomást, az anyag elpárologhat vagy porlasztható a szubsztrátra. Az anyag elpárologtatásának két módszere van: a termikus párolgás és az elektronnyaláb párologtatása. A porlasztásnak két módszere is van: a magnetron porlasztása és az ív porlasztása. Bármelyik módszert is alkalmazzák, ellenőrizni kell az anyag párolgási vagy porlasztási sebességét és a film vastagságát.

5. Készítsen többrétegű filmet

Miután az egyrétegű membrán elkészült, több réteg összerakható, hogy kompozit képződjön. Különböző anyagok és lerakódási folyamatok használhatók, például váltakozó lerakódást, többpisztoly anyag-tárolást és zónázott lerakódást.

6. A membrán minőségének tesztelése

Az utolsó lépés a membrán minőségének tesztelése. A tesztek tartalmazhatják a vastagságot, a fizikai tulajdonságokat, az optikai tulajdonságokat és az elektromos tulajdonságokat. Határozza meg, hogy a membrán anyag megfelel -e a követelményeknek a teszt eredményei szerint.

Röviden: a vákuumbevonat technológiája egy módszer a kiváló minőségű vékony fóliák elérésére. Kiválasztania kell a megfelelő szubsztrátot és anyagot, be kell töltenie a vákuumbevonórendszert, vákuumizálnia, anyag elpárolog vagy porlasztani, többrétegű filmet készíteni és tesztelni a film minőségét. A vákuumbevonási technológiát széles körben használják az elektronikában, az optikában, az orvosi és az energiamezőkben.